操，原来EUV真正的突破，是ASML遭遇研发连年延期，客户失去耐心，CEO在公司最绝望的时刻，走进教堂，面对三颗蜡烛——代表ASML三大客户祈祷时，所得到的灵感 和最开始用激光脉冲照射tin液滴一次发光的设计不同；为何不照射两次？ 第一次让液滴摊开成薄饼状，第二次才是真正的main laser shot，让tin 变成plasma，然后电子跃迁recombine，发射出满足100W功率要求的1