操，原来EUV真正的突破，是ASML CEO在教堂中，面对三颗蜡烛（代表ASML三大客户）祈祷时，所得到的灵感 和最开始用激光照射tin液滴一次发光的设计不同；照射两次，第一次让液滴摊开成薄饼状，第二次才是真正的main laser shot，让tin 变成plasma，然后电子跃迁recombine，发射出满足100W功率要求的12.5nm EUV 宗教，科学；人性，坚持；理性，信仰 这