路透社：深圳团队于2025年初完成了一台EUV光刻机的原型机。 政府的目标是在 2028 年实现芯片的实用化，但有消息称 2030 年更有可能。 知情人士透露，该团队包括近期退休的华裔前 ASML 工程师和科学家——他们是主要的招聘目标，因为他们拥有敏感的技术知识，但离开公司后面临的职业限制较少。 ASML前光源技术负责人林楠，其在中国科学院上海光学研究所的团队在18个月内提交了8项极紫外光源