这是一台二十多年前技术的光刻机，却被小粉红吹奏为先进光刻机🤣 能力：分辨率 110nm，覆盖90nm - 350nm成熟制程节点，应用在功率半导体、模拟芯片、MEMS 与生物芯片和先进封装。套刻精度15nm🤔 突破点：支持90nm芯片光刻机的全国产化，是不是重大突破就是见仁见智了🤔