路透又出了一期音频，更详细地讨论了一下东大首套EUV光刻机原型机的问题。其中提到的关键突破是中国科学院长春光学精密机械与物理研究所（CIOMP）在EUV光学系统集成上取得进展，使原型机产生EUV光（虽光学系统仍需大幅优化）。 在供应链方面，音频指东大通过国际拍卖获取旧ASML设备进行研究和逆向工程。 东大还招募了曾在ASML任职的华裔工程师，如ASML前光源技术负责人林楠 (音译)，其团队在18个